外延（epitaxy）
外延（epitaxy）
外延是一种晶体生长方法，它是在一定条件下使原子规则地排列在单晶衬底上，形成结构完整，与衬底取向相同，并有一定厚度的单晶层的方法。外延技术既可用于生长与衬底材料相同的单晶层（同质外延），亦可用于生长与衬底材料不同的单晶层（异质外延）。由于采用的方法不同，外延又可分为固相外延、液相外延、气相外延和分子束外延等。气相外延普遍应用在硅晶体管、硅集成电路和砷化镓微波器件、砷化镓集成电路的制造中；分子束外延在制备超晶格量子阱结构中有重要作用。
