纳米技术（nanotechnology）

纳米是10-9m，制备纳米量级尺度材料、器件、系统的微加工技术，模拟技术和表征分析技术称为纳米技术，是纳米电子学的技术基础。纳米技术是当前材料、物理、化学、信息等领域极为重视的研究开发领域，是当代高技术的重要组成部分。