乙硅烷

15CDDisilaneSi2H662.22

目录: 1、物理性质; 2、作用与用途; 3、性质与稳定性; 4、合成方法; 5、贮存方法; 6、毒理学数据; 7、生态学数据; 8、计算化学数据; 、安

物理性质

性状：无色透明液体
密度（g/mL,15℃）：0.686
熔点（oC）：-132.5
沸点（oC,常压）：-14.5
溶解性：可与氢、氩、氮和氦以任意比例混合。

作用与用途

在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。d4－250.686，熔点－132．5℃，沸点－14．5℃，它具有与硅烷类似的化学性质，比硅烷不稳定，反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢，在光照下也可分解。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定，应更加小心。

性质与稳定性

1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。
2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。
3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

合成方法

1.采用硅烷原料气，经流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，得到含乙硅烷、甲烷和氢的混合气，将混合气在不同的冷却条件下进行吸收，除掉杂质，可得高纯乙硅烷。
2.甲硅烷经辉光放电后聚合生成高级硅烷，用液氮冷却回收，采用低温精馏法除去氢和甲硅烷即可。
3.采用硅烷原料气，经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下，生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷却条件下进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。

贮存方法

参照140206电子级硅烷。

毒理学数据

微毒。

生态学数据

通常对水是不危害的，若无政府许可，勿将材料排入周围环境

计算化学数据

1、疏水参数计算参考值（XlogP）：未确定
2、氢键供体数量：0
3、氢键受体数量：0
4、可旋转化学键数量：0
5、互变异构体数量：未确定
6、拓扑分子极性表面积（TPSA）：0
7、重原子数量：2
8、表面电荷：0
9、复杂度：0
10、同位素原子数量：0
11、确定原子立构中心数量：0
12、不确定原子立构中心数量：0
13、确定化学键立构中心数量：0
14、不确定化学键立构中心数量：0
15、共价键单元数量：1