三氟硅烷
物理性质
性状：无色气体。
密度（g/L）：1.86 (0℃)。
熔点（℃）：-131。
沸点（℃）：-94.4。
气化焓（kJ/mol）：16.1。
气化熵（J/(mol·K)）：87.9 。
合成方法
SiHCl3＋SbF3→SiHF3＋SiHCl2F＋SiHClF2
主要产物为SiHF3，产率可达90％，后二者含量较少。SiHF3在液氮温度下不稳定，发生分解反应：4SiHF3→SiH4＋3SiF4。
安全信息
安全标识：S9 S38 S45 S24/25
危险标识：R26 R35
